232 B
232 B
PVA+DI Waterの溶液x2(A,B) AcAc+IPA+DI Waterの溶液x2(C,D)
130度で乾燥しながら5回スピンコート、Cは5回目に両面外れて落下して汚れたが継続
230度で10分preheat
540度まで加熱
PVA+DI Waterの溶液x2(A,B) AcAc+IPA+DI Waterの溶液x2(C,D)
130度で乾燥しながら5回スピンコート、Cは5回目に両面外れて落下して汚れたが継続
230度で10分preheat
540度まで加熱