PVA+DI Waterの溶液x2(A,B) AcAc+IPA+DI Waterの溶液x2(C,D) 130度で乾燥しながら5回スピンコート、Cは5回目に両面外れて落下して汚れたが継続 230度で10分preheat 540度まで加熱