1.6 KiB
1.6 KiB
| date |
|---|
| 2023-10-12T18:33:49+0900 |
#semiconductor #research
スライドグラスの上にTKペーストCR2800を、カプトンテープの間に作った10mm幅の溝のマスキングに塗布。
ヒートガンで乾燥。
カッターで中央に溝を刻み、抵抗値が測定不可能になるのを確認
DIY半導体-実験ノート1作った溶液を50μl程度中央に滴下。
ヒーターで125°まで加熱して水分を蒸発（12分）
230°まで上昇させ酢酸亜鉛の熱分解を促す（12分間、PVAが分解されず黒焦げ状態が続く）
400°まで上昇させPVAの熱分解を確認（黄色くなった）（9分）
500°まで上昇(13分)、ヒーター停止
明らか量が多すぎた気がするので酸化亜鉛系トランジスタ#Fabrication of Flexible Metal Oxide Thin Film Transistor by Indigenously Developed Spray Pyrolysis Unitを参考にしてみる
- Zn Acetate Dehydrate 0.3mol/L
- メタノールとDI Water2:1の混合溶媒 65.85/50 = 1.317g / 20ml
10/12
ドロップコートっぽいやり方（液滴垂らして、傾けて、余分なのをキムワイプで吸い取る） で5回コート
300度で7分、500度で10分
TKペーストが300度以上で劣化するのも問題 ZnO溶液やPVA誘電体を滴下した時に染み込んで行っているように見える
トップゲート-coplanerにして、最初にZnO膜を作るしかないのか？ そうするとゲート長を短くするのはカッターの切れ込みとかできないから難しくなる
ITOが塩酸でエッチングできるらしいのでその方が有効かなあー