quartz-research-note/content/DIY半導体-実験ノート3.md
松浦 知也 Matsuura Tomoya c18e2fabae
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date: "2023-10-21T02:04:02+0900"
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#semiconductor #research
2023/10/16
PVA+DI Waterの溶液xA,B
AcAc+IPADI Waterの溶液x2C,D
130度で乾燥しながら5回スピンコート、Cは5回目に両面外れて落下して汚れたが継続
230度で10分preheat
540度まで加熱
Aのうち、端っこの白く厚くなっている層を挟むように電極をつけたら、光電効果が確認された
2023/10/17
前日の試料にPVA、DIWater5:5のドロップキャストで誘電体を作る
上から導電テープを貼ろうとしたところ、ソッコーで剥がれて絶縁破壊されてしまった。
ゲート電極は塗料かペーストの方が良かったか?やっぱり
試しに純水液滴をゲートにもしてみたけど、これは漏れ電流が大きすぎてダメっぽい。
DI Waterでも、導電粘着剤のカーボンが水に溶け出してるっぽかった。
この意味でもやっぱ電極はペーストにすべきだったか
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ついでに、
PVA+DI Waterの溶液で改めてドロップキャストと、改めて厚めのスピンコートを試す
200度で中間乾燥
250→300と中間加熱それぞれ5分程度
540度まで上昇 10分程度でヒーターストップ
やっぱ350度くらいから加熱された黄色のZnOが見えてくるんだよな
UVに当ててみたところ、ドロップキャストは軒並みほとんど反応を見せた。ソースドレイン間隔が広いものだとダメっぽかった
中央部分は反応なし、不均一だった白い部分は反応する
膜自体は結構硬めにできてる(ドライバーなどで傷をつけてもほとんど変化なく)
次の策は電極をペーストで低温硬化させるのをまず試すか