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#semiconductor #research
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スライドグラスの上にTKペーストCR2800を、カプトンテープの間に作った10mm幅の溝のマスキングに塗布。
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ヒートガンで乾燥。
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カッターで中央に溝を刻み、抵抗値が測定不可能になるのを確認
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[[DIY半導体-実験ノート1|前回]]作った溶液を50μl程度中央に滴下。
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ヒーターで125°まで加熱して水分を蒸発（12分）
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230°まで上昇させ酢酸亜鉛の熱分解を促す（12分間、PVAが分解されず黒焦げ状態が続く）
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400°まで上昇させPVAの熱分解を確認（黄色くなった）（9分）
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500°まで上昇(13分)、ヒーター停止
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明らか量が多すぎた気がするので[[酸化亜鉛系トランジスタ#Fabrication of Flexible Metal Oxide Thin Film Transistor by Indigenously Developed Spray Pyrolysis Unit]]を参考にしてみる
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- Zn Acetate Dehydrate 0.3mol/L
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- メタノールとDI Water2:1の混合溶媒
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65.85/50 = 1.317g / 20ml
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10/12
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ドロップコートっぽいやり方（液滴垂らして、傾けて、余分なのをキムワイプで吸い取る）
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で5回コート
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300度で7分、500度で10分
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TKペーストが300度以上で劣化するのも問題
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ZnO溶液やPVA誘電体を滴下した時に染み込んで行っているように見える
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トップゲート-coplanerにして、最初にZnO膜を作るしかないのか？
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そうするとゲート長を短くするのはカッターの切れ込みとかできないから難しくなる
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ITOが塩酸でエッチングできるらしいのでその方が有効かなあー |