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232 B
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232 B
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PVA+DI Waterの溶液x2(A,B)
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AcAc+IPA+DI Waterの溶液x2(C,D)
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130度で乾燥しながら5回スピンコート、Cは5回目に両面外れて落下して汚れたが継続
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230度で10分preheat
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540度まで加熱 |