quartz-research-note/content/DIY半導体-実験ノート2.md

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Raw Blame History

#semiconductor #research

スライドグラスの上にTKペーストCR2800を、カプトンテープの間に作った10mm幅の溝のマスキングに塗布。

ヒートガンで乾燥。

カッターで中央に溝を刻み、抵抗値が測定不可能になるのを確認

DIY半導体-実験ート1作った溶液を50μl程度中央に滴下。

ヒーターで125°まで加熱して水分を蒸発12分

230°まで上昇させ酢酸亜鉛の熱分解を促す12分間、PVAが分解されず黒焦げ状態が続く

400°まで上昇させPVAの熱分解を確認黄色くなった9分

500°まで上昇(13分)、ヒーター停止

明らか量が多すぎた気がするので酸化亜鉛系トランジスタ#Fabrication of Flexible Metal Oxide Thin Film Transistor by Indigenously Developed Spray Pyrolysis Unitを参考にしてみる

  • Zn Acetate Dehydrate 0.3mol/L
  • メタールとDI Water2:1の混合溶媒 65.85/50 = 1.317g / 20ml

10/12

ドロップコートっぽいやり方(液滴垂らして、傾けて、余分なのをキムワイプで吸い取る) で5回コート

300度で7分、500度で10分

TKペーストが300度以上で劣化するのも問題 ZnO溶液やPVA誘電体を滴下した時に染み込んで行っているように見える

トップゲート-coplanerにして、最初にZnO膜を作るしかないのか そうするとゲート長を短くするのはカッターの切れ込みとかできないから難しくなる

ITOが塩酸でエッチングできるらしいのでその方が有効かなあー