--- title: 酸化亜鉛系トランジスタ tags: - research - survey - semiconductor date: "2023-10-07T15:16:13+0900" --- **[[Homemade Thin-Film Transistor Experiments]]** 前駆体溶液の溶媒は2-プロパノール（っていうかこれイソプロピルアルコールか） [[硝酸亜鉛]]からの生成 [[酢酸亜鉛]]からの方が安心できそう [[スプレー熱分解法による酸化亜鉛薄膜の低温大気作製]](2013) ジエチル亜鉛を溶媒で希釈したものをスプレーで吹き付け、常圧、比較的低温（~200度）での加熱で成膜 ##### 酸化亜鉛薄膜の形成と物性・デバイス応用(2019) https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/62/7/62_20180376/_pdf/-char/ja 溶液法の説明ある > 酢酸亜鉛とモノエタノ ールアミンを 2-メトキシエタノールに溶かした亜鉛濃度 0.3 mol/L のものを前駆体溶液とし使い酸化亜鉛薄膜を形成した。前駆体溶液をガラス基板上にスピンコート塗布と中間乾燥を繰り返し，最終焼結を経て成膜が完了する。最終焼結温度を 300℃，400℃，500℃ と変化させて X 線回折測定を行った結果，500℃で c 軸配向が確認さ れ，多結晶膜が形成されていることが分かった。続けてトランジスタを試作すると，c 軸配向が得られた場合に限りトランジスタ動作が確認された。 > ゾルゲル法では，加熱により中間生成物（水酸化物） を経て，酸化物が形成されるため，中間乾燥工程の温度も膜質に大きな影響を与えると予想される。そこで，最終焼結条件を空気中 500℃，4 時間に固定し，中間乾燥温度のみを 150℃，180℃，240℃，300℃と変化させ， 膜の平坦性と抵抗値を測定し，トランジスタを作製した。その結果，中間乾燥温度が 150℃，180℃ では，膜 の二乗平均粗さが 5 nm を超える粗さを示し，X 線回折 でも c 軸配向した膜は得られず，トランジスタ動作も得られないという結果となった。一方，240℃，300℃ の中間乾燥を経た膜では粗さが 1 nm 程度と平坦でc 軸配 向した膜が得られ，トランジスタ動作が確認された。 [[Pulsed Laser Ablation - A Facile and Low-Temperature Fabrication of Highly Oriented n-Type Zinc Oxide Thin Films]](2022) 大気中でパルスレーザーで成膜 ##### Direct Light Pattern Integration of Low-Temperature Solution-Processed All-Oxide Flexible Electronics https://pubs.acs.org/doi/full/10.1021/nn504420r ##### A performance comparison between honey and water as electrolytic dielectrics for ZnO liquid-gated transistors https://link.springer.com/article/10.1007/s00339-023-06565-6 なぜ蜂蜜を誘電体に使おうと思ったのか、、、 Sweet Electronics: Honey-Gated Complementary Organic Transistors and Circuits Operating in Air https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/adma.202103183 https://phys.org/news/2017-09-honey-cost-effective-non-toxic-substitute-graphene.html ##### Effect of the gate electrodes/water interface on the performance of ZnO-based water gate field-effect transistors https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S1369800122005741 ##### High-mobility low-temperature ZnO transistors with low-voltage operation(2010) https://doi.org/10.1063/1.3428357 ##### Sub-0.5 V Highly Stable Aqueous Salt Gated Metal Oxide Electronics(2015) https://www.nature.com/articles/srep13088 ゲートをDI Water、NaCl溶液、KCl溶液とかで比べてる 当たり前だけど直接液体が誘電体に触れちゃダメなのか、うまくZnOのとこにだけ当たるように調整する必要がある ##### Structural and electrical properties of ZnO films prepared by screen printing technique(2005) https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609000017879 ##### Sol–gel-deposited ZnO thin films: A review https://doi.org/10.1016/j.mseb.2010.07.001 [[スクリーンプリントでのトランジスタ]] ##### Synthesis of ZnO sol–gel thin-films CMOS-Compatible https://pubs.rsc.org/en/content/articlehtml/2021/ra/d1ra02241e ##### Fabrication of Flexible Metal Oxide Thin Film Transistor by Indigenously Developed Spray Pyrolysis Unit https://iopscience.iop.org/article/10.1149/08801.0129ecst/meta https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1742-6596/1455/1/012023/pdf スプレー熱分解だけど前駆体溶液はDI Water、酢酸、メタノールだけ PVAはむしろDielectricとして使ってる。0.5g/10mlなので50g/1000ml 5wit % つまり10wit% PVAなら5ml＋DIwater 5mlでいいのかな