diff --git a/content/DIY半導体.md b/content/DIY半導体.md index 0e09e27a..647d1e3c 100644 --- a/content/DIY半導体.md +++ b/content/DIY半導体.md @@ -17,19 +17,7 @@ tags: ### 金属酸化物 -#### 酸化亜鉛 - - **[[Homemade Thin-Film Transistor Experiments]]** - -##### 酸化亜鉛薄膜の形成と物性・デバイス応用 - -https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/62/7/62_20180376/_pdf/-char/ja - -溶液法の説明ある - -##### Direct Light Pattern Integration of Low-Temperature Solution-Processed All-Oxide Flexible Electronics - -https://pubs.acs.org/doi/full/10.1021/nn504420r +[[酸化亜鉛系トランジスタ]] ### 歴史 diff --git a/content/酸化亜鉛系トランジスタ.md b/content/酸化亜鉛系トランジスタ.md new file mode 100644 index 00000000..1075f8a2 --- /dev/null +++ b/content/酸化亜鉛系トランジスタ.md @@ -0,0 +1,23 @@ +--- +title: 酸化亜鉛系トランジスタ +tags: +- research +- survey +- semiconductor +--- + + +**[[Homemade Thin-Film Transistor Experiments]]** + +##### 酸化亜鉛薄膜の形成と物性・デバイス応用(2019) + +https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/62/7/62_20180376/_pdf/-char/ja + +溶液法の説明ある +> 酢酸亜鉛とモノエタノ ールアミンを 2-メトキシエタノールに溶かした亜鉛濃度 0.3 mol/L のものを前駆体溶液とし使い酸化亜鉛薄膜を 形成した。前駆体溶液をガラス基板上にスピンコート塗布と中間乾燥を繰り返し,最終焼結を経て成膜が完了する。最終焼結温度を 300℃,400℃,500℃ と変化させて X 線回折測定を行った結果,500℃で c 軸配向が確認さ れ,多結晶膜が形成されていることが分かった。続けてトランジスタを試作すると,c 軸配向が得られた場合に限りトランジスタ動作が確認された。 + + + +##### Direct Light Pattern Integration of Low-Temperature Solution-Processed All-Oxide Flexible Electronics + +https://pubs.acs.org/doi/full/10.1021/nn504420r \ No newline at end of file