From 19dead2a24b441200c140bfc467fc2fc8b2c9d62 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: "Tomoya(obsidian)" Date: Thu, 10 Aug 2023 13:41:48 +0900 Subject: [PATCH] [obsidian] vault backup: 2023-08-10 13:41:48[ --- content/.obsidian/community-plugins.json | 3 ++- content/酸化亜鉛系トランジスタ.md | 3 +++ 2 files changed, 5 insertions(+), 1 deletion(-) diff --git a/content/.obsidian/community-plugins.json b/content/.obsidian/community-plugins.json index d3f66fab..0b567f75 100644 --- a/content/.obsidian/community-plugins.json +++ b/content/.obsidian/community-plugins.json @@ -1,3 +1,4 @@ [ - "obsidian-git" + "obsidian-git", + "obsidian-zotero-desktop-connector" ] \ No newline at end of file diff --git a/content/酸化亜鉛系トランジスタ.md b/content/酸化亜鉛系トランジスタ.md index 1075f8a2..d4f8f2b0 100644 --- a/content/酸化亜鉛系トランジスタ.md +++ b/content/酸化亜鉛系トランジスタ.md @@ -14,8 +14,11 @@ tags: https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/62/7/62_20180376/_pdf/-char/ja 溶液法の説明ある + > 酢酸亜鉛とモノエタノ ールアミンを 2-メトキシエタノールに溶かした亜鉛濃度 0.3 mol/L のものを前駆体溶液とし使い酸化亜鉛薄膜を 形成した。前駆体溶液をガラス基板上にスピンコート塗布と中間乾燥を繰り返し,最終焼結を経て成膜が完了する。最終焼結温度を 300℃,400℃,500℃ と変化させて X 線回折測定を行った結果,500℃で c 軸配向が確認さ れ,多結晶膜が形成されていることが分かった。続けてトランジスタを試作すると,c 軸配向が得られた場合に限りトランジスタ動作が確認された。 +> ゾルゲル法では,加熱により中間生成物(水酸化物) を経て,酸化物が形成されるため,中間乾燥工程の温度 も膜質に大きな影響を与えると予想される。そこで,最 終焼結条件を空気中 500℃,4 時間に固定し,中間乾燥 温度のみを 150℃,180℃,240℃,300℃ と変化させ, 膜の平坦性と抵抗値を測定し,トランジスタを作製し た。その結果,中間乾燥温度が 150℃,180℃ では,膜 の二乗平均粗さが 5 nm を超える粗さを示し,X 線回折 でも c 軸配向した膜は得られず,トランジスタ動作も得 られないという結果となった。一方,240℃,300℃ の 中間乾燥を経た膜では粗さが 1 nm 程度と平坦で c 軸配 向した膜が得られ,トランジスタ動作が確認された。 + ##### Direct Light Pattern Integration of Low-Temperature Solution-Processed All-Oxide Flexible Electronics