From b0f9d6478ef8cd1bedce861b305df2c71b3236f5 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: =?UTF-8?q?=E6=9D=BE=E6=B5=A6=20=E7=9F=A5=E4=B9=9F=20Matsuura=20Tomoy?= =?UTF-8?q?a?= Date: Thu, 6 Feb 2025 18:37:33 +0900 Subject: [PATCH] [obsidian] vault backup: 2025-02-06 18:37:33 --- content/DIY半導体-実験ノート2.md | 2 +- content/DIY半導体.md | 2 +- content/DIY酸化亜鉛系トランジスタ.md | 76 +++++++++++++++++++ ...ンジスタ.md => 酸化亜鉛トランジスタ-サーベイ.md} | 18 +---- 4 files changed, 80 insertions(+), 18 deletions(-) create mode 100644 content/DIY酸化亜鉛系トランジスタ.md rename content/{酸化亜鉛系トランジスタ.md => 酸化亜鉛トランジスタ-サーベイ.md} (90%) diff --git a/content/DIY半導体-実験ノート2.md b/content/DIY半導体-実験ノート2.md index afc56997..3107b80e 100644 --- a/content/DIY半導体-実験ノート2.md +++ b/content/DIY半導体-実験ノート2.md @@ -20,7 +20,7 @@ date: "2023-10-12T18:33:49+0900" 500°まで上昇(13分)、ヒーター停止 -明らか量が多すぎた気がするので[[酸化亜鉛系トランジスタ#Fabrication of Flexible Metal Oxide Thin Film Transistor by Indigenously Developed Spray Pyrolysis Unit]]を参考にしてみる +明らか量が多すぎた気がするので[[DIY酸化亜鉛系トランジスタ#Fabrication of Flexible Metal Oxide Thin Film Transistor by Indigenously Developed Spray Pyrolysis Unit]]を参考にしてみる - Zn Acetate Dehydrate 0.3mol/L - メタノールとDI Water2:1の混合溶媒 diff --git a/content/DIY半導体.md b/content/DIY半導体.md index 607d0510..580658a3 100644 --- a/content/DIY半導体.md +++ b/content/DIY半導体.md @@ -53,7 +53,7 @@ https://www.bookpark.ne.jp/cm/ieej/detail/IEEJ-ECT16039-PDF/ ### 金属酸化物 -[[酸化亜鉛系トランジスタ]] +[[DIY酸化亜鉛系トランジスタ]] ### 有機トランジスタ diff --git a/content/DIY酸化亜鉛系トランジスタ.md b/content/DIY酸化亜鉛系トランジスタ.md new file mode 100644 index 00000000..22c6bec0 --- /dev/null +++ b/content/DIY酸化亜鉛系トランジスタ.md @@ -0,0 +1,76 @@ +--- +title: 酸化亜鉛系トランジスタ +tags: + - research + - survey + - semiconductor +date: "2023-10-07T15:16:13+0900" +--- + +## 方針 + +- NO真空装置 +- NO高温 (~500°、できれば~300°C、電子工作用のホットプレートで処理できる) +- NO特殊薬品 + +## 材料 + +### 基板 + +ガラスプレート（化学用のスライドガラス） +### 半導体 + +[[酢酸亜鉛]]ベースの溶液をスピンコートして、[[酸化亜鉛]]ベースのトランジスタを作る。溶媒は水とエタノールもしくはIPAの混合、キレート剤としては普通エタノールアミン系を使うが、クエン酸で代用する。 + +加熱は300度でなんとかなる想定 + +### 電極 + +導電性ペーストで頑張る。100°Cくらいで焼結、逆に250°Cとかに加熱すると焼けて朽ちるので、工程の順序が制限される。 + +### 誘電体（ゲート絶縁膜） + +ポリビニルアルコール（PVA）をスピンコート + +## 工程 + +- 事前準備 + - 電極のマスク（スクリーン）作成 + - xtoolのレーザーカッタースクリーン製版が楽そう + - 櫛形電極でソース・ドレインを作る + - 半導体前駆体溶液の作成 + - 誘電体の溶液作成 + +- 基板の洗浄(超音波洗浄、できれば塩酸とか) +- 半導体の成膜 + - スピンコート + - 中間乾燥 + - 焼結、冷却 +- ソース・ドレイン電極のスクリーンプリント + - 導電ペースト加熱処理 +- ここまでで、紫外線当てて電流量の変化を見られる +- 誘電体成膜 + - 電極にマスクする（テープとか） + - スピンコート + - 乾燥 +- ゲート電極のスクリーンプリント + - 誘電体を破壊しないように気を付ける + - 導電ペースト加熱処理 + + + +## その他の方法 + +- アルミ板をベースにして、酸化皮膜をゲート絶縁膜にしたら楽なのでは？ + - [[Homemade Thin-Film Transistor Experiments#次にやること]]曰く、絶縁破壊起きてダメだったらしい + - 原因は分かってないが、アルミの膨張率が大きいのでひび割れたのではと + - ただ、酸化被膜の作り方にもいろいろあるみたいなので必ずしも不可能ではないのでは + +- 液体誘電体にするのはどうか + - ソース・ドレイン電極に触らないような形にできれば良さそう + +## [[酸化亜鉛トランジスタ-サーベイ]] + +## [[蜂蜜誘電体トランジスタ]] + +## [[スクリーンプリントでのトランジスタ]] \ No newline at end of file diff --git a/content/酸化亜鉛系トランジスタ.md b/content/酸化亜鉛トランジスタ-サーベイ.md similarity index 90% rename from content/酸化亜鉛系トランジスタ.md rename to content/酸化亜鉛トランジスタ-サーベイ.md index 88867ad2..6790953d 100644 --- a/content/酸化亜鉛系トランジスタ.md +++ b/content/酸化亜鉛トランジスタ-サーベイ.md @@ -1,16 +1,6 @@ ---- -title: 酸化亜鉛系トランジスタ -tags: - - research - - survey - - semiconductor -date: "2023-10-07T15:16:13+0900" ---- - - **[[Homemade Thin-Film Transistor Experiments]]** -前駆体溶液の溶媒は2-プロパノール（っていうかこれイソプロピルアルコールか） +前駆体溶液の溶媒は2-プロパノール（イソプロピルアルコール） [[硝酸亜鉛]]からの生成 @@ -80,8 +70,4 @@ PVAはむしろDielectricとして使ってる。0.5g/10mlなので50g/1000ml 5w つまり10wit% PVAなら5ml＋DIwater 5mlでいいのかな -蒸着なしでできる方法があればなー - -## [[蜂蜜誘電体トランジスタ]] - -## [[スクリーンプリントでのトランジスタ]] \ No newline at end of file +蒸着なしでできる方法があればなー \ No newline at end of file