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date: "2023-10-12T18:33:49+0900"
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#semiconductor #research 

スライドグラスの上にTKペーストCR2800を、カプトンテープの間に作った10mm幅の溝のマスキングに塗布。

ヒートガンで乾燥。

カッターで中央に溝を刻み、抵抗値が測定不可能になるのを確認


[[DIY半導体-実験ノート1|前回]]作った溶液を50μl程度中央に滴下。

ヒーターで125°まで加熱して水分を蒸発（12分）

230°まで上昇させ酢酸亜鉛の熱分解を促す（12分間、PVAが分解されず黒焦げ状態が続く）

400°まで上昇させPVAの熱分解を確認（黄色くなった）（9分）

500°まで上昇(13分)、ヒーター停止

明らか量が多すぎた気がするので[[酸化亜鉛系トランジスタ#Fabrication of Flexible Metal Oxide Thin Film Transistor by Indigenously Developed Spray Pyrolysis Unit]]を参考にしてみる

- Zn Acetate Dehydrate 0.3mol/L
- メタノールとDI Water2:1の混合溶媒
65.85/50 = 1.317g / 20ml

10/12 

ドロップコートっぽいやり方（液滴垂らして、傾けて、余分なのをキムワイプで吸い取る）
で5回コート

300度で7分、500度で10分

TKペーストが300度以上で劣化するのも問題
ZnO溶液やPVA誘電体を滴下した時に染み込んで行っているように見える

トップゲート-coplanerにして、最初にZnO膜を作るしかないのか？
そうするとゲート長を短くするのはカッターの切れ込みとかできないから難しくなる

ITOが塩酸でエッチングできるらしいのでその方が有効かなあー